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大載重量二維壓電平移臺(tái)
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的二維平移臺(tái)主要是為在計(jì)量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。推出的二維平移臺(tái)主要分為以下兩種。
1). 緊湊型二維壓電馬達(dá)平移臺(tái)AUXY-XLS
AUXY-XLS由兩個(gè)AU-XLS平移臺(tái)組成，而且不需要額外的適配板。因?yàn)槠溆蓛蓚€(gè)AU-XLS一維位移平臺(tái)組成，該位移臺(tái)采用無聲的超聲馬達(dá)，在提供大的行程的同時(shí)擁有較高的精度。該平臺(tái)使用壽命長、快速（400mm/s）、無噪聲、斷電自鎖等特點(diǎn)。
2).大推力二維壓電平移臺(tái)AUXY-XSS
AUXY-XSS掃描臺(tái)是對高精度和高重復(fù)性要求的大載重量顯微鏡和計(jì)量應(yīng)用設(shè)計(jì)的。該平臺(tái)在載重量超過20kg時(shí)仍可提供亞微米的精度和高的穩(wěn)定性。該位移臺(tái)由壓電促動(dòng)器和光學(xué)編碼器組成，當(dāng)您需要移動(dòng)大的部件并要求納米級的精度和超低的穩(wěn)定時(shí)間時(shí)，AUXY-XSS是該要求的*解決方案，并且該款平移臺(tái)可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定制。
主要特點(diǎn)
l 大行程 （92mm）
l 大載重量（20kg）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)
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